VA-3200 晶圆影像检测系统

VA-3200晶圆影像检测系统是一款高效且精确的工具，旨在取代传统的IQC人工目视检测，专门用于识别晶圆表面的缺陷。以下是系统的详细介绍：

【功能特色】

1. 针测机（Prober）兼容：VA-3200影像检测系统设计为可搭载于针测机，让工程师和操作员能在熟悉的设备环境中使用。

2. 简化操作过程：系统与针测机的整合允许用户利用现有的操作界面来设定影像参数，减少了对新系统的学习曲线。

3. 避免晶圆破片风险：由于不需要直接接触晶圆进行取放，有效防止了晶圆破片的风险。

4. 提升操作便利性：熟悉针测机的工程师和操作员能够更轻松地上手，保持检测过程的高效与安全。

【产品优势】

1. 高品质影像捕捉

   a. Line Scan Camera：采用线扫描相机，提供大视野（Field of View, FOV）和快速扫描能力，能在短时间内完整捕捉整个晶圆的影像。

   b. 3倍镜头：搭配高倍率镜头，能够产生高品质影像，显著提升缺陷特征的识别率。

2. 高精度缺陷检测

   a. 检测精度达5μm：具备高精度的检测能力，能够精确识别晶圆表面的微小缺陷，包括异物（Particles）、划痕（Scratches）、Pad异常和Bump异常。